有研工研院一項目入選2023年度“中國有色金屬十大進展”名單
2024年12月30日 11:6 2021次瀏覽 來源： 中國有色金屬報 分類： 科技創新 作者： 李其曉 公淞俏
12月13日，中國有色金屬學會公布了2023年度“中國有色金屬十大進展”獲獎名單，中國有研所屬有研工研院“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發及其應用”項目成功入選。
“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發及其應用”項目聚焦我國集成電路材料關鍵裝備的“卡脖子”問題，開發出國內首套滿足先進集成電路超高純金屬需求的電子束熔煉裝備，在大功率高效穩定熱陰極電子槍、多槍大功率電子束能量控制、高質量大規格鑄錠電子束熔煉裝備集成設計等核心技術領域取得突破，獲得專利授權40余項，具有完全自主知識產權。
該裝備達到國內領先、國際先進水平，并在國內主要超高純金屬原材料生產單位投入使用，標志著高端電子束熔煉裝備實現全面國產化。應用該設備生產的超高純鉭、銅等材料已在先進集成電路領域獲得批量應用，保障了我國集成電路產業關鍵原材料自主可控。
該項目入選“中國有色金屬十大進展”，體現了行業對有研工研院科技創新實力與成果的認可，彰顯了有研工研院對推動行業共性技術提升、保障國家關鍵產業鏈安全的重要作用。有研工研院將繼續秉承“創業求實、創新致遠”的核心價值觀，扎實做好科技創新與產業培育，為發展新質生產力，推動高質量發展繼續貢獻更大的力量。
責任編輯：任飛
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